激光干涉仪安全操作规程

一、 系统参数检测

1． 将参数写入开关打开；

2． 将I/O通道设置于所需传输手段的状态；

3． 找到系统参数内每个轴的参考点的螺距补偿点号；

4． 找到所补偿轴的正负两侧极限螺距误差补偿点；

5． 检查每根轴的设定螺距误差补偿倍率。

二、 坐标系检测

运行程序前将绝对坐标系与机械坐标系统一，以方便操作。

三、 设备连接及摆放

1． 架设三脚架，抬升三脚架时要松开锁具，升到位时再将锁具锁紧；

2． 将激光干涉仪下方的锁扣旋开；

3． 将云台底座的固定点置于支架安装座上，最后将锁扣按上；

4． 云台到位后，向后按紧锁扣把云台锁紧，每次调整前均需将锁扣放松；

5． 松开水平方向的锁扣，在水平方向粗调激光干涉仪位置，调整结束还原锁扣锁紧；

6． 通过细调旋钮左右水平移动进行微调；

7． 通过扭摆角调节旋钮进行水平角度调节，以消除正弦误差；

8． 通过俯仰角调节旋钮进行俯仰角度调节，以消除正弦误差；

9． 将补偿单元的安装磁块吸附于机床上，再将补偿单元滑槽固定于安装块上；

10． 将环境温度及材料温度传感器的数据线连接于补偿单元上；

11． 设备摆放完成后注意场地的清洁及安全性，将线缆避开走动处，以防绊倒器材。

四、 镜组架设及对光

1． 对光前调节扭摆旋钮至中间位置，将云台调节至中央位置；

2． 调节俯仰旋钮使激光干涉仪水平；

3． 移动三脚架使激光干涉仪的辅助线与干涉镜的红色辅助点处于同一轴线；

4． 通过垂直方向和水平方向的调节最终使得测量镜回光和干涉镜回光重合，且光斑置于光靶中央；

5． 移除遮挡物使光路通畅；

6． 检查光强信号强弱；

7． 将测量镜沿测量轴移动至另一极限位置附近，观察测量镜和干涉镜回光是否重合，如若不重合，先调节扭摆旋钮进行微调使其水平方向重合，再转动水平调节旋钮水平移动激光头将水平方向重合后的光斑调整至光靶中央；如果垂直方向不重合调节俯仰调节旋钮使其垂直方向重合，最后调节三脚架高度使光斑移至光靶中央；

8． 再次检查信号强度，重复第7步骤直至信号在测量轴整体行程中始终处于满足测量要求的状态。

五、 测量及误差补偿

设置测量步距或转动角度，自动获取各个补偿点的数据，与理论值进行比较，将误差值补偿至被测机床各待测轴，完成误差补偿。

六、 测量结束

测量结束后待激光干涉仪冷却后，将线缆拆除，各部件拆卸，并置于便携箱内。